热线电话:13146848685

北京创世威纳科技有限公司

主营: 磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE

天助网 > 商铺首页 > 新闻列表 > 湖北感应耦合等离子体刻蚀机原理服务为先“本信息长期有效”
北京创世威纳科技有限公司
第7年 |    
企业等级: 普通会员
经营模式: 生产加工
所在地区: 北京 昌平区
联系卖家: 苏经理 女士   
手机号码: 13146848685
公司官网: bjcswn.tz1288.com
公司地址: 北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层

湖北感应耦合等离子体刻蚀机原理服务为先“本信息长期有效”

发布时间:2021-11-07 09:19:00        作者:创世威纳








等离子刻蚀机

创世威纳——***感应耦合等离子体刻蚀供应商,我们为您带来以下信息。

等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。某种程度来讲,等离子清洗实质上是等离子体刻蚀的一种较轻微的情况。进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走。等离子体刻蚀工艺实际上便是一种反应性等离子工艺。近期的发展是在反应室的内部安装成搁架形式,这种设计的是富有弹性的,用户可以移去架子来配置合适的等离子体的蚀刻方法:反应性等离子体(RIE),顺流等离子体(downstream),直接等离子体(direction plasma)。








感应耦合等离子体刻蚀机的结构四

真空系统真空系统有两套,分别用于预真空室和刻蚀腔体。预真空室由机械泵单独抽真空,只有在预真空室真空度达到设定值时,才能打开隔离门,进行传送片。刻蚀腔体的真空由机械泵和分子泵共同提供,刻蚀腔体反应生成的气体也由真空系统排空。

想了解更多关于感应耦合等离子体刻蚀的相关资讯,请持续关注本公司。








等离子刻蚀工艺

高密度等离子体源在刻蚀工艺上具有许多优势,例如,可以***地控制工作尺寸,刻蚀速率更高,更好的材料选择性。高密度等离子体源可以在低压下工作,从而减弱鞘层振荡现象。使用高密度等离子体源刻蚀晶片时,为了使能量和离子通量彼此独立,需要采用独立射频源对晶圆施加偏压。因为典型的离子能量在几个电子伏特量级,在离子进入负鞘层后,其能量经加速将达到上百电子伏特,并具有高度指向性,从而赋予离子刻蚀的各向异性。

如需了解更多感应耦合等离子体刻蚀的相关内容,欢迎拨打图片上的热线电话!








免责声明
• 本文仅代表作者个人观点,本站未对其内容进行核实,请读者仅做参考,如若文中涉及有违公德、触犯法律的内容,一经发现,立即删除,作者需自行承担相应责任。涉及到版权或其他问题,请及时联系我们 tousu@tz1288.com
  • 苏经理女士
  • 手机:13146848685
  • 联系我时务必告知是在天助网上看到的!

北京创世威纳科技有限公司

商铺|诚信档案

地址:北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层

电话:13146848685传真:010-62999722

免责声明:以上信息由会员自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责,天助网对此不承担任何责任。天助网不涉及用户间因交易而产生的法律关系及法律纠纷, 纠纷由您自行协商解决。

风险提醒:本网站仅作为用户寻找交易对象,就货物和服务的交易进行协商,以及获取各类与贸易相关的服务信息的平台。为避免产生购买风险,建议您在购买相关产品前务必 确认供应商资质及产品质量。过低的价格、夸张的描述、私人银行账户等都有可能是虚假信息,请采购商谨慎对待,谨防欺诈,对于任何付款行为请您慎重抉择!如您遇到欺诈 等不诚信行为,请您立即与天助网联系,如查证属实,天助网会对该企业商铺做注销处理,但天助网不对您因此造成的损失承担责任!

联系:tousu@tz1288.com是处理侵权投诉的专用邮箱,在您的合法权益受到侵害时,欢迎您向该邮箱发送邮件,我们会在3个工作日内给您答复,感谢您对我们的关注与支持!

首页 | 公司概况 | 供应信息 | 采购优选 | 公司资讯 | 企业图集 | 联系我们

北京创世威纳科技有限公司 电话:010-62907051 传真:010-62999722 联系人:苏经理 13146848685

地址:北京市昌平区回龙观北京国际信息产业基地高新二街2号4层 主营产品:磁控溅射镀膜机,电子束/热阻蒸发机,ICP,RIE,IBE

Copyright © 2024 版权所有: 天助网 增值电信业务经营许可证:粤B2-20191121

免责声明:以上所展示的信息由企业自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责。天助网对此不承担任何保证责任。